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        靶材綁定基礎知識

        發布時間:2020年04月13日 | 圍觀人數:4563

        一、什么是綁定

        綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導電膠。靶材綁定常用釬焊,釬料常用In、Sn、In –Sn,一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/㎝2。

        二、為什么要綁定

        1、防止靶材受熱不勻碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結靶材;

        2、節省成本,防止變形,如靶材太貴,可將靶材做薄些,綁定背靶以防止變形。

        三、背靶的選擇

        1、常用無氧銅,導電性好,無氧銅的導熱性比紫銅好;

        2、厚度適中,一般建議背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。

        四、綁定過程

        1、綁定前將靶材和背靶表面預處理
        2、將靶材和背靶放置在釬焊臺上,升溫到綁定溫度
        3、將靶材和背靶金屬化
        4、粘接靶材和背靶
        5、降溫和后處理 

        五、綁定靶材使用的注意事項

        1、濺射溫度不宜太高

        2、電流要緩慢加大

        3、循環冷卻水應低于35攝氏度

        4、適宜的靶材致密度

        六、背靶脫落的原因

        1、濺射溫度高,背靶易被氧化和發生翹曲,靶材在高溫濺射時會開裂,造成背靶脫落;

        2、電流太大,導熱太快造成溫度過高,焊料熔化,造成焊料不均勻,造成背靶脫落;

        3、循環冷卻水出水口的溫度應低于35攝氏度,循環水溫度高,造成散熱不好而脫落;  

        4、靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時,不易吸附,無空隙,背靶易脫落。


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